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压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)

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• 超安静运动, 20 kHz驱动频率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O

详细信息 在线询价

压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)

室温 ·压电运动解决⽅案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台

外形紧凑,动⼒性能不折扣的压电线性台;同时保证优质的价格空间。

压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊

• 超安静运动,  20 kHz驱动频率

• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)

• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选

• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台,摇摆台

• ⽀持⽆磁( .NM)、⾼真空( .HV)和超⾼真空  ( .UHV)选件

2D ·尺⼨图

LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数

可选版本 ⇨

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM     绝对⽆磁版本;

.HV,     ⾼真空版本 ;

.UHV ,超⾼真空版本;

1        底⾯尺⼨*⾼度

65 × 65 mm × 12 mm

2        主体材料

不锈钢

纯钛

不锈钢

不锈钢

3        线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线,

PEEK-2mm插针

运动参数-空间推荐安装形式 I.  (下列性质均在推荐安装形式下测得)

4        运动⾏程

30 mm

5        最⼤速度

~ 20 mm/s

6        最⼩步伐

~ 10 nm

7        驱动频率

Max. 20 kHz   (超安静运动)

8        最⼤⽔平推⼒

2 N

9        保持⼒

5 N


0.3 mrad / 0.2 mrad

10       全⾏程俯仰/偏摆


运动参数-空间推荐安装形式 II.  (下列性质均在推荐安装形式下测得)

11

最⼤垂直负载

2 N

12

保持⼒

5 N

传感精度

13       位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

- 光栅尺传感( .O )

14       位置传感量程

30 mm

15       位置传感分辨率

- 电阻型传感( .R ),   100-200 nm

- 光栅尺传感( .O ),   10 nm,   1nm可选(默认 10nm)

 


北京卓立汉光仪器有限公司

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手机:13810146393

联系人:贺

电话:86-010-56370168-696

传真:010-56370118

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