深紫外飞秒激光器

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模内浇口分离自动化，降低对人的依赖度；传统的塑胶模具开模后产品与浇口相连，需二道工序进行人工剪切分离，模内热切模具将浇口分离提前至开模前，消除后续工序，有利于生产自动化，降低对人的依赖。

以可调谐的锁模钛宝石激光器作为基频光源，经过多级倍频/和频来产生 192-200nm 波段的深紫外超短脉冲激光

深紫外飞秒激光器概述

以可调谐的锁模钛宝石激光器作为基频光源，经过多级倍频/和频来产生192-200nm波段的深紫外超短脉冲激光（图1）。

图1. 192-200 nm超短脉冲激光产生方案示意图

基于基频光源的不同选择，激光波长还可以实现大范围的调谐，最大范围可覆盖192-300 nm波段，且连续可调。另外还可输出覆盖二次谐波(375-500 nm)、三次谐波（（230-300 nm）波段的可见、紫外超短脉冲激光。

另外，基频光源也可选择1 μm波段（1064 nm、1030 nm）锁模激光器，可获得四次谐波（~260 nm）和五次谐波（~210 nm）的紫外激光。

图2. 激光器实物图（192-300 nm连续调谐，尺寸1300*600*200mm3，不含基频源）

技术特点：
· 覆盖深紫外、紫外、可见光的大范围波长调谐
· 电动控制波长调谐
· 高指向稳定性
· 图形化人机交互界面
· 波长可扩展

深紫外飞秒激光器应用领域：
· 超快光谱探测
· 高精密激光加工
· 荧光寿命探测
· 非线性光学

2. 基频光源技术参数

典型的基频光源可选择Coherent公司CHAMELEON 系列钛宝石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技术指标如下：

技术指标	典型参数
波长	780 nm或波长可调谐	根据需求固定激光波长，或可调波长
脉冲宽度	100 fs、50 fs
重复频率	80 MHz
光束质量	M2<1.3
功率	~2.5W@780 nm	取决于最终需求的深紫外激光功率，2.5W基频光对应于约4mW的195nm激光功率

3. 输出技术指标

（1）195 nm激光输出功率约4 mW（基频功率>2.5W@780nm）.

（2）195 nm激光输出功率约0.5 mW（基频功率>1.4W@780nm）